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运用同步辐射双晶貌相术结合高分辨三轴晶X射线衍射对经原位低温热处理的Si／SiGe／Si—SOI异质结构进行研究，发现Si层（004）衍射峰两侧半高宽（FWHMs）处同步辐射双晶形貌像特征存在明显差异，对同步辐射双晶摇摆曲线中Si层（004）衍射峰的不对称性给予了解释，同时阐明了高分辨三轴晶X射线衍射2θω。扫描曲线中Si层（004）衍射双峰与Si层衍射结构的对应关系。