【摘 要】
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用直拉法生长硅单晶时,采用热解石墨制作的加热器及保温罩代替一般的石墨制件,有效地避免了碳对硅单晶的沾污。
Czochralski growth of silicon single crystal, the use of
【机 构】
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用直拉法生长硅单晶时,采用热解石墨制作的加热器及保温罩代替一般的石墨制件,有效地避免了碳对硅单晶的沾污。
Czochralski growth of silicon single crystal, the use of pyrolytic graphite heater and insulation cover instead of the general graphite parts, effectively avoiding carbon on the silicon single-crystal contamination.
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