【摘 要】
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本文在阐述振动筒压力传感器的作用和工作原理的基础上,着重分析了传感器的敏感元件,即薄壁振动筒的物理因素和几何因素对传感器性能的影响。介绍了振动筒的现有制造工艺及其
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本文在阐述振动筒压力传感器的作用和工作原理的基础上,着重分析了传感器的敏感元件,即薄壁振动筒的物理因素和几何因素对传感器性能的影响。介绍了振动筒的现有制造工艺及其缺点和限制,最后归纳了在制造振动筒过程中的三个主要技术难关。提出采用超精密加工的手段和特殊加工的方法来解决振动筒制造技术的设想。
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