【摘 要】
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一、引言为了提高切削刀具的耐磨性,用不同方法在刀具表面镀上一层或多层TiN,TiC,TiCN,Al_2O_3等硬质膜。其中,PVD法以其特有的优点受到人们的重视。但目前商品化的膜层物质
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一、引言为了提高切削刀具的耐磨性,用不同方法在刀具表面镀上一层或多层TiN,TiC,TiCN,Al_2O_3等硬质膜。其中,PVD法以其特有的优点受到人们的重视。但目前商品化的膜层物质只有TiN。提高超硬耐磨膜与衬底的附着强度是PVD法急需解决的一个问题。
I. INTRODUCTION In order to improve the wear resistance of cutting tools, different layers of TiN, TiC, TiCN, Al 2 O 3 and other hard films are coated on the tool surface by different methods. Among them, PVD method has attracted people’s attention due to its unique advantages. However, the commercialization of the film material only TiN. Improve the adhesion strength of hard-wearing film and substrate PVD method is an urgent problem to be solved.
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