CSM系列半导体测试系统的研究

• 作 者: 陈光遂 何丕模
• 机 构: 西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系
• 出 处: 西安交通大学学报
• 发表日期: 1993年1期
• 关键词: 半导体器件 测试系统 CSM系列 semiconductor devices semiconductor materials integrated circ
• 基金项目: “七五”国家重点科技攻关项目

CSM系列自动化半导体测试系统是由微型计算机、接口电路单元以及各种模拟测量仪器组合构成的专用测试系统.测量仪器是1MHz电容仪、微电流仪、线性斜坡电压发生器等等.本文重点介绍CSMⅢ型系统.该系统已配备七套应用软件,既可用于集成电路芯片生产过程中关键工序的在线工艺检测,也可用于半导体器件的研究工作.本系统可以替代进口的类似检测设备.更多还原