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本文报道了采用等离子体ＣＶＤ方法制备Ｆｅ２Ｏ３／ＴｉＯ２薄膜材料，并用浸渍法对表面修饰了Ｉｎ，制成了检测鱼鲜度ＴＭＡ的薄膜气传感器，并具有很好的灵敏度，等。
薄膜型TMA气体传感器的研制
【摘 要】
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本文报道了采用等离子体ＣＶＤ方法制备Ｆｅ２Ｏ３／ＴｉＯ２薄膜材料，并用浸渍法对表面修饰了Ｉｎ，制成了检测鱼鲜度ＴＭＡ的薄膜气传感器，并具有很好的灵敏度，等。
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1997年4期
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