【摘 要】
：
自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用。本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北美泰电子科技有限公司
论文部分内容阅读
自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用。本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析。对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断,认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向:高精度,以满足日益精细化、智能化的应用需求;微型化,以实现便携、分布式应用要求;高集成度,以完成多种功能高密度组合;适应性强,以适应复杂应用环境,拓宽应用范围。
其他文献
教学片段：（出示一段话）每一个叶绿体，都是一个小小的绿色“加工厂”。在阳光的照射下，叶绿体可以把根吸收来的水份和气孔进来的二氧化碳，合成植物所需要的养料，同时放出氧气。叶的这
隐喻小说是由一个或以上母隐喻架构而成的小说,它通过由源域概念向目的域概念的选择性投射完成对作品的认知布局。有的隐喻投射的是源域概念的结构图式,有的是其象征意义,有
目的探讨分析100例永久起搏器置入术并发症的相关因素以及防治的对策。方法选取了2017年~2019年患者因置入起搏器术后并发症的因素进行分析,及时处理保证患者的安全。结果在1
再制造工艺过程的稳定性及可靠性是保证并提高再制造机床可靠性的基础。针对废旧机床回收、拆解、清洗、检测与分类、再加工、再装配以及再制造机床调试检验等再制造工艺过程
目的对社区高血压管理中社区护士的角色职责和实施路径进行探讨。方法选择某社区服务中心15名护士为研究组,在2018年7月~2019年6月对高血压管理实施工作路径和流程干预;以同
分式方程的解法很多学生很快能够掌握，但初学者总是忘记解完方程后进行验根，这是让许多初中数学教师头疼的事情。中考的出题者们也正是看到了这一点，往往在填空题或计算题中设上这样一个陷阱题，专等那些基本功不扎实的学生上当，将送到口袋里的分数白白丢掉，等到考完后猛然醒来，悔之晚矣。 笔者从事初中数学教育十五年，每每教到分式方程部分，也是想尽办法让学生记住：分式方程必须要验根!但即使反复强调，依然有部分学生