离子注入法制备超薄氚源

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叙述了一种用于中微子静止质量测量的大面积高活度氚源的离子注入制备过程。氚注入在微玻璃基板上的碳膜中,由此获得窄条形、大面积、高活度、氚分布均匀、氚注入厚度为2μg/cm^2、氚的逃逸速度≤4×10^2Bq/h的氚源。
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