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国产HVM3509硅高压整流堆的设计与制造
国产HVM3509硅高压整流堆的设计与制造
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziquan33071033
【摘 要】
:
介绍了国产HVM3509微波炉专用硅堆的工艺特点和关键设计制造工艺。该产品具有体积小、电流大、压降低、漏电流小和可靠性高等独特优点。研制结果表明:该产品已达到日本HVM3509同类产品标准。
【作 者】
:
杭德生
【机 构】
:
南京大学加速器研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
整流堆
硅堆
工艺
设计
HVM3509
标准
微波炉
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介绍了国产HVM3509微波炉专用硅堆的工艺特点和关键设计制造工艺。该产品具有体积小、电流大、压降低、漏电流小和可靠性高等独特优点。研制结果表明:该产品已达到日本HVM3509同类产品标准。
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