【摘 要】
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电子束大扫描场偏转系统设计中,像差的确定是一个必须解决的实际问题.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,以双通道扫描原理进行扫描,分析了像差与电子束主轨迹的关
【机 构】
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山东大学电子束实验室,济南,250061
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电子束大扫描场偏转系统设计中,像差的确定是一个必须解决的实际问题.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,以双通道扫描原理进行扫描,分析了像差与电子束主轨迹的关系.给出了可动物镜的条件,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法.并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由该电子束曝光机试验结果表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.采用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差.以0.005 rad半张角,5×10-5的高压纹波,50 mm的像距,10 mm×10 mm扫描场的边脚处,使动态校正前的总像差为0.03 μm.
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