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介绍了晶圆湿法清洗设备的运行机制;针对设备的不同模块,分析了可能影响清洗效果的关键参数;并针对各个参数的控制,提出了相对应的解决方案。
影响清洗设备清洗效果的关键参数
【摘 要】
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介绍了晶圆湿法清洗设备的运行机制;针对设备的不同模块,分析了可能影响清洗效果的关键参数;并针对各个参数的控制,提出了相对应的解决方案。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2021年1期
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