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采用溶胶-凝胶技术，以乙醇钽为前躯体，乙醇为溶剂，分别以盐酸、硝酸、硫酸为催化剂，结合CO3超临界干燥技术制备了Ta2O5气凝胶。研究发现：硫酸作催化剂的体系，其胶凝时间远远小于其他体系，且溶剂交换及超临界干燥过程中的收缩开裂现象明显改善；扫描电镜分析结果显示，硫酸为催化剂制备的Ta2O5气凝胶骨架颗粒问存在较严重的团簇现象，比表面积约167m^2／g，明显低于以盐酸、硝酸为催化剂的体系。X射线光电子能谱测试结果显示，Ta2O5气凝胶中无相应的cl元素或N元素残留，而s元素则基本上滞留在Ta2O5气凝胶中