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全自动IC芯片键合机的结构设计及原理
全自动IC芯片键合机的结构设计及原理
来源 :包装工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tseysaw
【摘 要】
:
键合是IC元件生产的重要封装过程或工序,需要在芯片键合机上完成。讨论了全自动IC芯片键合机的关键机械结构和原理,包括分片进料结构、送料结构、收料结构、芯片拾放装置的结构
【作 者】
:
李克天
陈新
高健
吴小洪
王晓初
【机 构】
:
广东工业大学
【出 处】
:
包装工程
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
芯片
键合
封装
结构
原理
【基金项目】
:
国家自然科学基金(50475044);教育部科技研究重点项目(2004106);高等学校博士学科点专项科研基金(20040562005);广东省自然科学基金(04300155);广州市科技项目(2004Z3-D9021)等联合资助
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键合是IC元件生产的重要封装过程或工序,需要在芯片键合机上完成。讨论了全自动IC芯片键合机的关键机械结构和原理,包括分片进料结构、送料结构、收料结构、芯片拾放装置的结构、顶针机构、晶圆供送装置等。
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