罗茨真空泵试验方法的研究

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zifeng20060819
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罗茨泵的抽气速率和极限压力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依赖于前级泵的型式和性能,因此它并不是罗茨泵本身特有的性能。能代表罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的是零流量压缩比、最大允许压差与溢流阀压差、漏率和噪声,它们与罗茨泵的真空状态、抽气性能和运行质量有着极其密切的关系。文中对特征性能的试验方法和装置进行了分析和研究,提出了有异于国内外现行标准的,更精粹、独特的见解。 Roots pump suction rate and ultimate pressure is the main performance of the pump, but it depends largely on the type and performance of the foreline pump, so it is not Roots pump itself Peculiar performance. Can represent the characteristics of the Roots pump performance, but has nothing to do with the foreline pump zero flow compression ratio, the maximum allowable pressure and pressure relief valve overflow, leakage rate and noise, and their vacuum pump Roots, pumping performance And run the quality has a very close relationship. In this paper, the test methods and devices of characteristic performance are analyzed and researched, and the more precise and unique opinions that are different from the current standards at home and abroad are put forward.
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