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实验证实，由滚珠丝秆和气浮导轨构成的超精密车床伺服乾给在极小的输入力矩作用下所产生的微量位移特性呈非线性和迟滞。本文就这一微动特性进行了频域分析，并建立了描述这一微动特性的数学模型。通过辨识确定了系统参数，仿真和实验结果对比验证了模型的正确性，进而利用微动特性对精密定位进行了实验研究，结果表明，微动特性可以用来实现纳米级的宾位且有较好的重要复性精度。