【摘 要】
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扫描反射镜微光电垂向位置测量系统的关键组件,可认为是整个光电垂向位置测量系统的关键。其本身性能的好坏直接决定了系统测量性能的好坏。截至目前,还未有一套独立的、成熟
【机 构】
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扫描反射镜微光电垂向位置测量系统的关键组件,可认为是整个光电垂向位置测量系统的关键。其本身性能的好坏直接决定了系统测量性能的好坏。截至目前,还未有一套独立的、成熟的、精确量化的测量装置,对扫描反射镜的性能进行测试。目前扫描反射镜的性能只能同分系统的性能耦合在一起进行判断,如果扫描反射镜存在问题,有可能到分系统测试阶段才能发现,造成了人力、物力、时间上的浪费。所以需要开发一套专用的测试装置。本文提出了扫描反射镜的测试方案,通过仿真初步验证了方案的可行性。同时,总结了在仿真中遇到的问题以及对下一步研究的展望。
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