Structure and magneto-electrical properties of Fe-C films pre- pared by magnetron sputtering

• 作 者: MA Lei LIU ZhongWu ZENG DeChan
• 机 构: SchoolofMaterialsScienceandEngineering,SchoolofMaterialsScienceandEngineering,DepartmentofMaterialsS
• 出 处: 中国科学：物理学、力学、天文学英文版
• 发表日期: 2012年9期
• 关键词: 所有制结构 FE-C 磁控溅射 电性能 薄膜 SI(100) 拉曼光谱分析 原子力显微镜 carbon films Fe-doped DLC films m
• 基金项目: supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. U0734001),,the Fundamental Research Funds for the Central Universities,SCUT (Grant Nos. 2009ZM0247 and 2012ZZ0015)

做 Fe 的非结晶的 Fe x C1x 小粒的电影在 n-Si (100 ) 上被准备由 d.c 磁控管劈啪作响的底层。Fe x C1x 电影的结构的性质被 X 光检查衍射(XRD ) 调查，原子力量显微镜(AFM ) 和拉曼光谱学。同样扔的电影的铁和碳处于非结晶的状态，并且 Fe x C1x 拍摄的结果表演是像钻石的碳(DLC ) 电影。在做铁进 DLC 电影以后， Fe x C1x 电影的光滑的表面形态学为 x=18at% 与大约 0.231 nm 的表面粗糙 Ra 被获得了。Fe x C1x 电影与