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八十年代的航空、航天以及超大规模集成电路等尖端技术之能够成为现实,无不与超精密加工发生紧密的联系。现代超高精度加工技术的开发目标是毫微米加工,即实现紫外线波长到X光波长(10<sup>-9</sup>m)的加工精度。但机床运动部件在低速移动时会出现爬行现象,如何抑制爬行?本文通过大量的试验对爬行机理进行研究并提出一种用法向激振来抑制爬行的办法。实验结果表明是可行的,引起同行专家的注目。