【摘 要】
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本文叙述了检测扩散、离子注入均匀性的范德堡法,给出了扩散、离子注入片均匀性的测检结果、偏差图及其分析,并对四探针法和范德堡法做了一般性的讨论。
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【机 构】
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陕西微电子学研究所,陕西微电子学研究所,陕西微电子学研究所,陕西微电子学研究所
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本文叙述了检测扩散、离子注入均匀性的范德堡法,给出了扩散、离子注入片均匀性的测检结果、偏差图及其分析,并对四探针法和范德堡法做了一般性的讨论。
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