【摘 要】
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计算了Ⅲ-Ⅴ族五元系化合物AlGaInPAs与GaAs晶格匹配时的等能隙曲线以及液相外延生长AlGaInPAs/GaAs所用母液中Al的分凝系数。实验证明,由于Al的分凝,使过冷度对Al-GaInPAs外延层的固相组分有显著影响,但对外延层的其他性质
【机 构】
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介观物理国家重点实验室北京大学物理学系
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计算了Ⅲ-Ⅴ族五元系化合物AlGaInPAs与GaAs晶格匹配时的等能隙曲线以及液相外延生长AlGaInPAs/GaAs所用母液中Al的分凝系数。实验证明,由于Al的分凝,使过冷度对Al-GaInPAs外延层的固相组分有显著影响,但对外延层的其他性质没有影响。
The equipotential curve of lattice matching of Ⅲ-Ⅴ pentad system compound AlGaInPAs with GaAs and the segregation coefficient of Al in mother liquid used for liquid-phase epitaxial growth of AlGaInPAs / GaAs were calculated. Experiments show that the supercooling has a significant effect on the solid phase composition of the Al-GaInPAs epitaxial layer due to the segregation of Al, but has no effect on the other properties of the epitaxial layer.
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