一种高稳定低电压扫描隧道显微镜镜体结构

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本文报告了一种高稳定的扫描隧道显微镜镜体结构。该镜体结构融入了多项提高稳定性和成像精度的考虑(:1)镜体被设计成了高中心对称结构;(2)粗逼近马达(竖直安置的压电惯性马达)和扫描结构被设计成互相独立,使得粗逼近马达的不稳定性不会传递到扫描结构中去(;3)粗逼近马达的向上步进被设计成了由压电体更有力的伸长形变(而非驱动力较小的收缩形变)来驱动,以降低控制电压(从而改善电子学噪声与精度),实现了首个〈18V低电压竖直步进STM;(4)扫描结构被设计成小型,且由热膨胀系数较小且相近的蓝宝石和高纯钛按热膨胀并行相
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