应用于神经通路研究的微机电系统探针与低功耗低噪声单集成芯片系统

• 作 者: 孙建辉 蔡新霞 刘军涛 王春兴 李登旺 陈泽源 程传福 汪金
• 机 构: 山东师范大学物理与电子科学学院,中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室生物电子（北方基地）,山东师范大学山东省医学物理图像处理技术重点实验室生命与健康研究院物理与电子科学学院,Departm
• 出 处: 分析化学
• 发表日期: 2017年4期
• 关键词: 神经通路 神经植人探针 传感后单集成芯片 微型生物可穿戴设备 Neural loop Neural implantable needle Low noise a
• 基金项目: 本文系国家自然科学基金项目(Nos.61527815,31500800,61501426,61471342),国家重点基础研究发展计划(No.2014CB744600),北京市科技计划(No.Z141100000214002),中科院重点部署项目(No.KJZD-EW-Lll-2)资助

针对神经内海马区谷氨酸化学递质与神经电生理信号的并行双模检测需要，设计了8通道电化学递质与电生理双模并行检测传感芯片微系统，系统组件包括:基于SOI(Silicon-on-insulator)工艺衬底制备的微机电系统MEMS(Micro-electro-mechanicalsystem)神经信息检测探针、低噪声颅内神经电小信号放大器、低功耗中速SAR(Successiveapproximationregister)-ADC(Analog/DigitalConverter)模/数转换器、精简低能耗OOK(O