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利用MEVVA源(金属蒸汽真空弧离子源)引出的强束流脉冲钼离子对H13钢进行了不同束流密度的离子注入。加速电压是48kV,剂量为2×10~(17)cm~(-2),束流密度在25至68μA.cm~(-2)间。x衍射分析证明在注入层内可形成MO_2C相。磨损试验证明:注钼H13钢的磨损特性随着束流的变化而变化。最后指出了MEVVA源在材料表面改性方面的应用前景。