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单晶硅是电子工业的基础材料之一,电子产品的质量与单晶生长的洁净环境有关,因此,对保护气氩的纯度,一般要求在99.995％以上,区熔单晶硅制备对氩纯度要求更高,需在99.999％以上。在硅单晶的制备过程中需要的氩量很大。一座年产5～8吨的单晶硅厂,年耗氩费用可达100～300万元。我所在开发单台负压硅单晶制备氩气回