【摘 要】
：
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度
论文部分内容阅读
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在微加工工艺流程中,引入新的牺牲层材料,显著提升了工艺流程的兼容性和加工效果的稳定性。在此基础上研制的新型电热微驱动器实测位移由11.5μm增大至13.9μm,这一结果与传统多晶硅材料弯曲梁式微驱动器的驱动位移5μm相比有显著提高,而能耗亦从180mW降至21.6mW,器件性能得到改
其他文献
[摘要] 目的 探讨学生标准化病人应用于《传染病护理学》实践教学的效果。 方法 将147名学生随机分为两组，实验组学生采用学生标准化病人案例教学法，对照组学生采用传统教学法进行临床实践教学。对比两组学生期末考试理论成绩、操作技能及护患沟通技能，调查学生对学生标准化病人案例教学法的认可程度。 结果 实验组学生的成绩明显高于对照组，理论成绩、操作技能及护患沟通技能比较，差异有高度统计学意义（P0.05
OHSAS 18001《职业安全与卫生管理 规范》是OHSAS 18000系列标准之一，它是以英国标准BS8800为基础，参照ISO 14001的要素构成模式制定的。
通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器
提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记，标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时，单波长对准光束照射在标记上，各级衍射光以不同的
同行评议一般属于定性评估的范畴，以往没有将其执行效果定量化的研究。本研究以学术期刊“同行评议”制度为研究对象，采用定量方法评价科技期刊“同行评议”制度运行的效果，设计
在无表面活性剂的条件下,采用水热反应法制备出单晶结构的掺杂过渡族金属粒子Mn的纳米ZnO颗粒,通过X射线衍射仪（XRD）对其微结构进行了表征,并对其紫外及可见光吸收光谱和X光衍
文章研究了发达国家限制商品过度包装的做法和趋势,总结了主要经验,结合我国商品过度包装问题比较严重的现状,提出了解决问题的建议。
硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件。大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容。介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法
计算机自动语义分析是当前制约自然语言信息检索、信息抽取与机器翻译等应用技术发展的一个瓶颈问题.语义角色标注是语义分析的一种主要实现方式,而目前语义角色的自动标注主
以农民合作社在促进诸城市农业生产结构的调整、农村市场体系的完善中发挥的不可忽视的作用为切入点探析了诸城市"公司+合作社+农户"的典型案例,分析了农业产业化过程中出现