【摘 要】
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一、前言 离子镀是七十年代国际上新发展起来的一项制备薄膜新技术,用它镀制的金属或合金薄膜具有耐磨、耐蚀、耐热、良润滑、色泽鲜艳和与基体结合牢固等优点,目前已广泛应
【机 构】
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机械部自动化研究所,机械部自动化研究所
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一、前言 离子镀是七十年代国际上新发展起来的一项制备薄膜新技术,用它镀制的金属或合金薄膜具有耐磨、耐蚀、耐热、良润滑、色泽鲜艳和与基体结合牢固等优点,目前已广泛应用于轻工、机械、冶金、电器等工业部门。 离子镀的原理是在真空容器中充以一定压强(约10-2托)的特定气
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