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光刻胶泵是涂胶机上的重要组成部分,胶泵将光刻胶精确喷涂在晶片上,所以胶泵控制器的稳定性与准确性也显得尤为重要,利用富士PLC自带的定位功能块与相关硬件对胶泵进行控制,不仅提高了定位精度,也提高了胶泵控制的稳定性。
使用PLC系统控制光刻胶泵精度方法探索
【摘 要】
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光刻胶泵是涂胶机上的重要组成部分,胶泵将光刻胶精确喷涂在晶片上,所以胶泵控制器的稳定性与准确性也显得尤为重要,利用富士PLC自带的定位功能块与相关硬件对胶泵进行控制,
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
【出 处】
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中国设备工程
【发表日期】
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2020年6期
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