【摘 要】
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<正> SST公司是一家专门生产全系列Flash Memory的著名美国厂商,其独有的分离栅厚氧专利工艺一方面消除了Over Erase问题,另一方面利用场增强隧道注入机厚氧工艺减小了栅间漏
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<正> SST公司是一家专门生产全系列Flash Memory的著名美国厂商,其独有的分离栅厚氧专利工艺一方面消除了Over Erase问题,另一方面利用场增强隧道注入机厚氧工艺减小了栅间漏电,从而提高了数据改写及保持的能力。同时其13层掩膜板CMOS兼容工艺流程,极大简化了工艺的复杂程度,即降低了成本又提高了可靠性。页方式结构设计为用户提供了灵活的
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