论文部分内容阅读
本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。在此基础上,文章对精密非球面加工和计算机辅助光学装校也进行了探讨。
极紫外光刻投影光学系统的研究
【摘 要】
：
本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。在此基础上,文章对精密非球面加工和计算机辅
【机 构】
：
郑州交通技师学院
【出 处】
：
光机电信息
【发表日期】
：
2009年7期
其他文献
中国科学院院士、南京大学天文系教授苏定强最近在上海表示．我国三大天文望远镜项目——大天区面积多目标光纤光谱望远镜、500m口径球面射电望远镜和硬X射线调制望远镜已分别
运用财政收支对国民经济运行产生深刻影响,以而达到优化资源配置和产业结构的目的,是在一定社会形态中财政职能的一般共性。但财政职能文因特定社会经济现实的
在XF-004A机床上采用螺旋轮驱动贯穿式磨削的方法,经一次磨削加工可使圆锥滚子外径素线轮廓成为全凸型.介绍了螺旋轮的修整和滚子加工方法.
建立新的国民经济核算体系和加速统计信息自动化系统建设问题是全国统计工作的重点,也是整个“八五”时期统计工作的重点。统计工作的计算机化是统计工作现代发展的必然。学
为提高某高速电动机用转子轴承的自润滑性能,采用WS_2作为固体润滑材料,经工艺研究,制备了满足轴承使用要求的WS_2复合薄膜。通过对镀膜前后轴承的性能测试、试验以及与国外
为去除调心滚子轴承、圆锥滚子轴承冲压保持架的表面锈蚀、毛刺及锐边,改善表面质量,设计制作了一种新型冲压保持架旋转抛光装置,利用该装置实现了保持架去毛刺的半自动化加
10月16日．由长春光机所自行研制的单码道绝对式光栅尺在实验装置上实现了正确的组合读数，误码率得到有效控制，标志着我国线位移光栅单码道绝对编码技术的重大突破。