【摘 要】
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日本精工针对从事FPD等面板搬运的真空机器人用途，开发出了在超高真空环境下耐久性更高的角接触球轴承“真空机器人用固体润滑角接触球轴承”。此次通过重新开发保持架的机械
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日本精工针对从事FPD等面板搬运的真空机器人用途，开发出了在超高真空环境下耐久性更高的角接触球轴承“真空机器人用固体润滑角接触球轴承”。此次通过重新开发保持架的机械装置，成功实现了角接触球轴承的固体润滑。由此，不仅提高了耐久性，还可满足日益大型化的真空机器人负荷容量增加的要求。耐久性达到以往固体润滑轴承的5倍。？
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