【摘 要】
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本文提出了一种新型TiO_2-SnO_2系湿敏元件.文中介绍了该器件的主要结构工艺,对感湿机理进行了探讨,并研究其特性.研究结果表明,这种湿敏器件具有良好的湿敏特性,制造工艺简
【机 构】
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沈阳工业大学,沈阳工业大学,沈阳工业大学,沈阳工业大学,
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本文提出了一种新型TiO_2-SnO_2系湿敏元件.文中介绍了该器件的主要结构工艺,对感湿机理进行了探讨,并研究其特性.研究结果表明,这种湿敏器件具有良好的湿敏特性,制造工艺简单、成本低等特点.
In this paper, a new type of TiO_2-SnO_2 based humidity sensor is introduced.The main structure and process of the device are introduced in this paper, and the mechanism of the humidity sensing is discussed and its characteristics are studied.The results show that the humidity sensor has a good wet Sensitive characteristics, manufacturing process is simple, low cost and so on.
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