论文部分内容阅读
原子层沉积系统是氧化物薄膜制备的主要手段。阐述了原子沉积的主要原理及工艺参数。利用原子层沉积系统制备了高介电常数ZrO2薄膜材料,系统研究了薄膜的电学性能。研究结果表明,原子层沉积系统制备的ZrO2薄膜具有良好的介电性能,±8V扫描电压下的漏电流密度为10^-3A·cm^-2。
原子层沉积系统的原理及其在ZrO2薄膜制备方面的应用
【摘 要】
：
原子层沉积系统是氧化物薄膜制备的主要手段。阐述了原子沉积的主要原理及工艺参数。利用原子层沉积系统制备了高介电常数ZrO2薄膜材料,系统研究了薄膜的电学性能。研究结果
【机 构】
：
安阳师范学院物理与电气工程学院,安阳师范学院数学与统计学院
【出 处】
：
安阳师范学院学报
【发表日期】
：
2016年2期
【基金项目】
：
国家自然基金（51402004）, 河南省科技厅项目（142102210380）, 河南省教育厅项目（15A140003,14A140008,13A140021）
其他文献
明确认识我国教育的社会主义性质和教育的优先发展地位,增强忠于教育事业的事业心与政治责任感。正确理解与执行教育方针;把握时代要求,重视素质教育;理顺学校管理体制改革与
在新时期文学发展史上,余华及其先锋文学的出现无疑是20世纪80年代最深刻的事件之一,他的写作是建立在＂前文化＂基础之上,呈现在＂后文化＂背景之下,具有不同寻常的历史意义。
以某水电站建设为例，全面分析评价了地方大中型水电站建设中对社会经济环境和自然环境的影响，提出了环境保护措施建议。
阐释与接受是从西方引进的或重文本或重读者的现代阐释学和读者接受理论。但回观中国人自己的文论成果,我们会发现,这些舶来的洋理论其实早就被我们的古人不同程度地言说过了
通过问卷调查、学习周记、访谈,对8个大学生在课外的英语学习进行个案研究。结果显示：（1）大部分学生已具有一定的课外学习自主性,能够制定学习目标,为通过各类考试所占比率大;能
介绍了压缩式内锚结构的原理 ,详述了内锚头的试验过程和试验结果 ,指出了压缩式内锚结构的优点及应用前景。
从网页制作的总体规划到一些具体细节等方面,简要介绍了一些可遵循的技巧和方法,旨在为网页设计者提供一点帮助.
1980年，美国有线电视新闻网（CNN）开播，开创了7天24小时全天候报道新闻的模式，电视取代报纸、广播成为美国人获取新闻的首要来源。专业化的有线电视新闻频道成为影响美国乃至于全球
毛发的生长与毛囊的形态发生和周期性变化密不可分，毛囊的形态发生和周期性变化依赖上皮角质细胞和真皮间质细胞的相互作用。作者综述了毛囊的结构、形态发生、周期性变化，讨论