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本文介绍了我公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,文中着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.
高产能四管卧式热壁型PECVD设备
【摘 要】
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本文介绍了我公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,文中着重阐述了
【机 构】
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北京七星华创电子股份有限公司
【出 处】
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电子元器件资讯
【发表日期】
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2004年期
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