【摘 要】
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我室JSM-T300型扫描电镜于1985年购买,现已工作十五年了,现将其中一例故障的分析和处理方法说明如下.故障现象:有图像,但在2000倍以上不清晰,分辨率低.故障分析:造成图像不清
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我室JSM-T300型扫描电镜于1985年购买,现已工作十五年了,现将其中一例故障的分析和处理方法说明如下.故障现象:有图像,但在2000倍以上不清晰,分辨率低.故障分析:造成图像不清晰的原因可归结如下.(1)绝大多数是物镜光阑污染.(2)电子束通道污染.(3)消像散电路发生故障,检查消像散电路板.(4)物镜电路故障造成聚焦失灵,图像模糊.(5)光电倍增管供电电压振荡时,图像上呈现织布状干扰.(6)检测器的闪烁体老化或闪烁体上铝膜脱落,造成图像本底噪声增大[1].故障检查及处理:首先清洗物镜光阑(一般情况
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