【摘 要】
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据《日本科学与技术》杂志报导,日立公司已研制出了世界上面积最小的存储单元。这种存储单元的面积仅为0.72平方微米,它是0.25微米工艺和旨在解决光刻集成电路制造技术中的
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据《日本科学与技术》杂志报导,日立公司已研制出了世界上面积最小的存储单元。这种存储单元的面积仅为0.72平方微米,它是0.25微米工艺和旨在解决光刻集成电路制造技术中的聚焦深度问题易采用的一种整平结构相结合的产物。人们期望这一新技术将有助于促进随机存取存储器用的甚大规模集成电路的研究开发工作。在集成电路的精细图案制作技术中,除了采用电子束曝光和 X 射线曝光法之外,用得更多的是波长为0.365毫米的紫
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