改进制膜工艺提高AHC—5pbs红外探测器稳定性

来源 :电子工艺简讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zenghui_yan

【作者】

：

苟志发

【出处】

：

电子工艺简讯

【发表日期】

：

1989年7期

【关键词】

：

红外探测器制膜工艺微机控制

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