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来源 :发明与创新(综合版) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
日前,国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜(直写式)光刻机在合肥面世。由张钟华、叶声华等院士带队的专家鉴定组在鉴定后认为,该成果在国际同类产品中处于先进
【出 处】
:
发明与创新(综合版)
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
自主知识产权
光刻机
专家鉴定
稳定可靠
亚微米
分辨率
国内
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