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本文用模态分析法详细分析了压电双晶片力、振动、粗糙度传感器的位移特性及灵敏度特性，并给出了灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系。
压电双晶片传感器灵敏度特性分析
【摘 要】
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本文用模态分析法详细分析了压电双晶片力、振动、粗糙度传感器的位移特性及灵敏度特性，并给出了灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2000年4期
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