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电子束曝光系统的设计关键是调整电子束束流和系统曝光分辨率及电流密度。良好的物镜电源稳定度可减少像差的弥散斑，确保电子束束流的高质量，介绍了连续可调的物镜系统凤双ＤＡＣ１６输入控制，将１００ｋＨｚ频率的压频转换，完成了一个闭环反馈控制电路。使要求极高的物镜电源稳定度达到２×１０＾－６／２小时，满足了０．１μｍ束斑的要求。