【摘 要】
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采用射频反应溅射法在玻璃衬底上制得均匀透明的TiO2纳米薄膜,通过离子溅射仪在纯TiO2薄膜上制备银包覆TiO2复合薄膜。利用X射线衍射分析（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）等表征技术研
【机 构】
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湛江师范学院实验教学管理部,湛江师范学院物理科学与技术学院
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采用射频反应溅射法在玻璃衬底上制得均匀透明的TiO2纳米薄膜,通过离子溅射仪在纯TiO2薄膜上制备银包覆TiO2复合薄膜。利用X射线衍射分析（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）等表征技术研究了银包覆TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌。XRD和SEM观测结果显示：射频功率为250 W时,薄膜表面光滑平整,颗粒均匀,大小在30～80 nm之间,属于锐钛矿型TiO2结构。杀菌性能测试表明：在光催化杀菌范围、速度和效率上,银包覆TiO2纳米复合薄膜较纯TiO2纳米薄膜及纯Ag薄膜明显提高,近紫外光催化10 min时
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