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【摘 要】
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改良西门子法制备多晶硅过程中,化学气相沉积所需能量全部由电流加热硅棒提供。本文考虑多晶硅还原炉中辐射和对流热量传递形式,耦合频率控制的焦耳电加热方程,建立了12对棒
【机 构】
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昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室,昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明冶金研究院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2017年10期
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