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提出了一种基于背面腐蚀的多层膜残余应力测试方法．此法可以简化测量过程，仅需要依次腐蚀基片背面的各层薄膜，用激光全场测量法测出相应的曲率半径，而无须腐蚀基片正面有用层，就可以提取各层薄膜的残余应力．模拟及实验证明，这是一种精度较高而且简单易行的薄膜残余应力在线提取方法．
MEMS多层膜残余应力全场光学在线测试
【摘 要】
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提出了一种基于背面腐蚀的多层膜残余应力测试方法．此法可以简化测量过程，仅需要依次腐蚀基片背面的各层薄膜，用激光全场测量法测出相应的曲率半径，而无须腐蚀基片正面有用层，就可
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年5期
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