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【摘 要】
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<正> 美国正在利用制造半导体技术,开发肉眼看不见的'微小机器'技术.这种微小机器采用以微米为单位的精密度加工的大规模集成电路等技术,以硅为原料,制造出肉眼看不
【出 处】
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世界科学
【发表日期】
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1989年6期
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