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一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机，它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、预镀蒸发源构成，本实用新型的优点是钛铝涂层与工件基体结合牢固．保证了钛铝镀膜涂层性能良好。且钛铝涂层多弧离子镀膜机的钛铝镀层蒸发源与纯钛离子轰击预镀蒸发源分布合理，加工工效高。
专利名称：钛铝涂层用多弧离子镀膜机
【摘 要】
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一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机，它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、预镀蒸发源构成，本实用新型的优点是钛铝涂层与工件基体结合牢固
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年6期
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