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本文着重介绍了微电子机械系统的一些最新研究成果及目前技术，工艺，市场的现状。
微电子机械系统的发展与希望
【摘 要】
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本文着重介绍了微电子机械系统的一些最新研究成果及目前技术，工艺，市场的现状。
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1997年1期
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