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采用喇曼（Raman）散射谱、高分辨率电子显微镜（HRTEM）和原子力显微镜（AFM）对掺磷纳米硅薄膜的微结构进行了分析，并对纳米硅薄膜的传导机制进行了探讨，结果表明：掺磷纳米硅薄膜由尺寸为2－4nm的晶粒和2－3个原子层厚的非晶界面构成，计算得到薄膜的晶态比为40％－55％，与本征纳米硅薄膜相比，掺磷纳米硅薄膜晶粒尺寸和晶态比没有明显变化，电导率却提高了2个数量级，随着掺磷纳米硅薄膜晶粒尺寸和晶态比没有明显变化，电导率却提高了2个数量级，随着掺磷浓度增加，纳米硅薄膜的晶粒尺寸、晶态比及电导率逐渐增大，A