【摘 要】
：
采用低成本、高效率的压印技术实现了高密度相变存储器(PCRAM)存储阵列的制备,开发出Si2Sb2Te5(SST)新材料的4Gbit/inch2存储阵列,存储单元面积为0.04μm2;利用SEM观测压印获
【机 构】
：
上海市纳米科技与产业发展促进中心纳米加工技术实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室,
论文部分内容阅读
采用低成本、高效率的压印技术实现了高密度相变存储器(PCRAM)存储阵列的制备,开发出Si2Sb2Te5(SST)新材料的4Gbit/inch2存储阵列,存储单元面积为0.04μm2;利用SEM观测压印获得的光刻胶图形阵列以及刻蚀后的SST存储阵列,其单元外形均具有高度的一致性,且单元特征尺寸的3倍标准差均小于6nm;利用AFM研究了SST存储单元的I-V特性,阈值电压为1.56V,高、低电阻态阻值变化超过两个数量级。实验结果表明了SST新材料及压印技术在PCRAM芯片中的应用价值。
High-density phase change memory (PCRAM) memory array is fabricated by low cost and high efficiency imprinting technology. A 4Gbit / inch2 memory array of Si2Sb2Te5 (SST) new material is developed with a memory cell area of 0.04μm2. SEM observation The patterned photoresist pattern and the etched SST memory array have a high degree of uniformity of cell shape and a standard deviation of 3 times the cell size is less than 6 nm. AFM has been used to study the IV Characteristics, the threshold voltage of 1.56V, high and low resistance state resistance changes more than two orders of magnitude. The experimental results show that SST new material and imprint technology in PCRAM chip application value.
其他文献
PowerBuilder(PB)开发者们大多习惯于在MDI窗口中使用主菜单,即将菜单绑定在窗口上.其实,若能恰如其分地运用好动态弹出式菜单(如同Windows中的快捷菜单),将使应用程序显得更
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
We present a comparison for the effect of condensation on the morphology and magnetic prop-erties of oleic acid modified BaFe12O19 nanoparticles. Two different
天顶音乐厅位于斯特拉斯堡市一处显眼的未开发区域,地处市中心和市郊之间。对于最高雅的鉴赏家来说,这里是一个低俗的音乐之地;对那些居住在历史名城中心之外的人来说,这里是
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【摘 要】许多教师无法理解教育改革的紧迫性、艰巨性和发展的方向，无法确定应有的态度和行为。面对新教材，我们不能有畏惧的心理，而应该笑对它，应从自身的因素找出解决这些难题的方法，充实自己，提高自己的教学效果。 【关键词】北师大版 高中英语 阅读教学 英语阅读教学是英语教学中的重要任务，同时也是锻炼学生英语能力的一个重要途径。但是目前高中英语阅读教学情况不容乐观，存在着一定的问题。笔者在本文就出现
Quantum dot infrared photodetectors are expected to be a competitive technology at high oper-ation temperatures in the long and very long wavelength infrared sp
随着经济水平的增长和信息化技术的进步,通讯工程发挥着原来越重要的作用。通讯工程的信息化和综合集成化是实现通讯工程长久发展的必然趋势。本文对如何实现通讯工程的信息化和综合集成化进行探究。
信息时代计算机与互联网已经走进千家万户。据不完全统计，截止2013年12月，我国网民规模达6.18亿，互联网普及率为45.8%，其中10—19岁年龄段网民占整个网民的比例为24.1%，仅次于31.2%的20—30岁年龄段。信息时代新技术在教育中的应用以计算机技术、网络通信技术、人工智能技术与虚拟现实技术为代表。我国十分重视这些新技术在教育中的应用，相继出台了一系列政策措施，《国家中长期教育改革和发