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微型集成化色谱仪的研究
微型集成化色谱仪的研究
来源 :云南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangyuxin_718
【摘 要】
:
微型集成化色谱仪的研究关亚风,李灵娥,陈殿生(中国科学院大连化学物理研究所分析室)将硅片微制造技术与色谱原理相结合,用全新的概念和设计思维,来设计、制造色谱仪的进样器、色谱
【作 者】
:
关亚风
李灵娥
陈殿生
【机 构】
:
中国科学院大连化学物理研究所分析室
【出 处】
:
云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1994年S2期
【关键词】
:
进样器
微制造
分析室
理论研究
半导体工业
微加工
连接管路
平均自由程
最低检出浓度
加工过程
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微型集成化色谱仪的研究关亚风,李灵娥,陈殿生(中国科学院大连化学物理研究所分析室)将硅片微制造技术与色谱原理相结合,用全新的概念和设计思维,来设计、制造色谱仪的进样器、色谱柱、检测器和整机由于这些部件的尺寸如此之小,在理论研究和部件的设计上,分子的平...
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