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本文首先简单介绍了SPM自身的一些基本关键技术,阐述了其精密工程的应用,重点指出了纳米级加工机理的研究在一定的程度上依赖于SPM的多功能化和复合化。
扫描探针显微技术及其精密工程应用
【摘 要】
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本文首先简单介绍了SPM自身的一些基本关键技术,阐述了其精密工程的应用,重点指出了纳米级加工机理的研究在一定的程度上依赖于SPM的多功能化和复合化。
【机 构】
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成都理工大学核技术与自动化工程学院
【出 处】
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橡塑技术与装备
【发表日期】
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2015年24期
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