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利用纳米硬度计研究了硬质合金基体上ＣＶＤ沉积ＴｉＮ，ＴＩＮ／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／ＴｉＣ、ＴｉＮ／ＴｉＮ／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／ＴｉＣ／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／ＴｉＣ和ＴｉＮ／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／ＴｉＣ／Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）／ＴｉＣ等４种涂层的硬度和断裂韧性。讨论了载荷与压入深度关系曲线上的台阶和载荷与压入深度平方关系曲线上的直线段与涂层的断裂失效的界面失效的关系，指出可用临界载荷ｐｔ和ｐｉ来分别描述涂层的断裂